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  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "電子工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="氟佈植處理"


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    以氟佈植處理之次微米低溫多晶矽P型薄膜電晶體特性改善研究
    • /99/ 碩士
    • 研究生: 胡瑀梵 指導教授: 范慶麟
    • 本論文為次微米低溫多晶矽P型薄膜電晶體以氟佈植處理之特性改善研究。即利用犧牲氧化層阻擋氟佈植處理對通道的傷害,並當源極和汲極形成的同時,氟離子將堆積在通道的表面,以形成Si-F強鍵結,能夠抑制在次微…
    • 點閱:224下載:2
    • 全文公開日期 2016/07/28 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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